台灣 DRAM 之死 (一)

大陸海派作家王安憶有本長篇小說《長恨歌》，講的是一位上海小姐從風華初露到花鈿委地的一生。王德威在書前的導讀用「上海小姐之死」為標題，借這標題，我來講台灣曾經有過的 DRAM 產業。

DRAM 從發明迄今已過了半世紀。我入行時，英特爾已然從此產業撤出十多年。日本的公司仍然重要，但疲態已露。後起的韓國三星已然崛起，台灣的 DRAM 廠家此時才積極投入，卻有形成產業的態勢。這時候的 DRAM 廠商全球大概還有二十五、六家，但是數目開始銳減，全世界從完全競爭市場慢慢變成寡頭壟斷市場。

DRAM 為什麼重要？

DRAM 是中央處理器周邊重要的元件，中央處理器的運算的始初、中介資料及結果均暫存於此，也是中央處理器與速度緩慢的永久儲存器之間的緩衝 (buffer)區。在電腦廠商元件的採購中，與中央處理器同屬於策略採購的範疇。但這不是 DRAM 重要的理由。

DRAM 的重要性在於在很長的一段時間裏－從剛發明時到二千年初－它一直是半導體產業的驅動技術 (driving technology)。也就是說半導體先進製程的推動，DRAM帶頭。有 DRAM 的製造能力，代表半導體製程領先。原因無它，DRAM 的容量需求那時還在快速成長期，製程先進可以提供較大容量的產品、較便宜的成本，是兵家必爭之地。由於當時我的職司之一－深紫外 (DUV) 光刻機專案經理，對這些歷史的細節記憶深刻。1996 年十二月三十一日，台灣的第一架深紫外 (DUV) 光刻機台從桃園機場以每小時十公里的速度緩緩的向竹科運送。在元旦大清晨時刻抵達廠區，由空蕩蕩潔淨室預留的開口吊入，這將用於 0.35 微米DRAM生產製造，102 天後，產出台灣第一顆由 0.35 微米的 64 Mb DRAM 功能晶粒。很久以後，邏輯製程的廠商如代工廠才開始採用0.35 微米製程。其它如今日視為平常的化學機械拋光研磨 (CMP)、雙鑲嵌 (dual damascene) 等，也都是先由 DRAM 產業先引入再擴及其它半導體次產業。全世界第二座、亞洲第一座十二吋廠也是由台灣的 DRAM 廠商興建，並且產出全世界第一個十二吋晶粒。由於這些經歷，當了兩年 Taiwan Semicon 光刻論壇的主席。而當時產業界若有舉辦化學機械拋光研磨的研討會，照例由我薄膜模組的同事擔任講師。最近曾被嚴厲的質詢 DRAM產業曾為台灣的半導體產業留下什麼？我想了想，是在其扮演驅動技術當時所帶來的產業進展動量，以及其花果飄零之後各自於新次產業的餘音裊裊。